[发明专利]一种膜厚传感器有效
| 申请号： | 201410479802.5 | 申请日： | 2014-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN104278250B | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 肖昂 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24;C23C14/18 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种膜厚传感器，属于蒸镀领域，以使Mg材料易于附着在膜厚传感器上，从而避免Mg材料的浪费。所述膜厚传感器，在所述膜厚传感器的表面上涂覆有Mg或Mg/MgO膜层。本发明可用于膜厚传感器的生产中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 | ||
【主权项】：
一种膜厚传感器，其特征在于，所述膜厚传感器设置在设有Mg蒸发源的金属蒸镀腔室内，在所述膜厚传感器的表面上涂覆有Mg/MgO膜层，所述Mg/MgO膜层中Mg和MgO膜层的厚度比为1:0.25‑1.5。
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