[发明专利]物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体无效
| 申请号： | 201410493644.9 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104515630A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 林和也;竹内正浩 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10;G01L9/00;G01C5/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体，其灵敏度优良。物理量传感器(1)的特征在于，其具有：基板(6)，其具有通过受压而发生挠曲变形的隔膜部(64)；固定电极(71)，其设置在隔膜部(64)上；以及可动电极(72)，其具有以隔开空隙的方式与固定电极(71)对置配置的可动部(722)，隔膜部(64)的俯视形状呈在规定方向上延伸的长条形状，固定电极(71)的俯视形状呈在规定方向上延伸的长条形状。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 压力传感器 高度计 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：隔膜部，其通过受压而发生挠曲变形；固定电极，其设置在所述隔膜部上；以及可动电极，其具有与所述固定电极分开地对置配置的可动部，所述隔膜部的俯视形状为长条形状，所述固定电极的俯视形状为沿着所述隔膜部的长边方向延伸的长条形状。
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