[发明专利]抗电磁波干扰合金薄膜的靶材无效
| 申请号： | 201410494137.7 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104451261A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 郑兆希 | 申请（专利权）人： | 兆阳真空动力股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C18/04 | 分类号： | C22C18/04;C22C1/06;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 姚亮 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抗电磁波干扰合金薄膜的靶材。该抗电磁波干扰合金薄膜的靶材是以熔炼的方式将合金主要组成熔炼在一靶上，主要合金包含：59wt％-97wt％的锌，3wt％-40wt％的铝，及0.005-1wt％的变质剂，其中所述变质剂选自由Zn、Al、Ti、C、B、N、Zr、Cr及其任意组合所组成的群组。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁波 干扰 合金 薄膜 | ||
【主权项】：
一种抗电磁波干扰合金薄膜的靶材，该靶材是以熔炼的方式将合金主要组成熔炼在一靶上，其至少包含：59wt％‑97wt％的锌，3wt％‑40wt％的铝，及0.005wt％‑1wt％的变质剂，其中所述变质剂包含铝、钛、碳，钛占所述变质剂的0.8wt％‑25wt％、碳占所述变质剂的0.01wt％‑3wt％，所述变质剂中其余为铝。
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