[发明专利]自旋处理装置

摘要

一种自旋处理装置，能够抑制灰尘的发生及夹持时的基板位置的偏移。实施方式的自旋处理装置使基板旋转来进行处理，具备至少三个夹持销，分别与基板的外周面抵接来把持基板；能够旋转的多个销旋转体，对各夹持销分别设置该销旋转体，该销旋转体将夹持销从与基板的旋转轴平行的该销旋转体本身的旋转轴偏心地进行保持；多个磁齿轮，该磁齿轮按各销旋转体分别设置在该销旋转体的外周面上，磁极沿着销旋转体的旋转轴的轴方向形成为螺旋状；多个旋转用磁铁，对各磁齿轮分别设置该旋转用磁铁，该旋转用磁铁被定位成与磁齿轮的磁极相互吸引；以及移动机构，使多个旋转用磁铁沿着销旋转体的旋转轴的轴方向移动。

主权项

一种自旋处理装置，使基板旋转来进行处理，其特征在于，具备：至少三个夹持销，分别与上述基板的外周面抵接来把持上述基板；能够旋转的多个销旋转体，对各上述夹持销分别设置该销旋转体，该销旋转体将上述夹持销从与上述基板的旋转轴平行的该销旋转体本身的旋转轴偏心地进行保持；多个磁齿轮，该磁齿轮按各上述销旋转体分别设置在该销旋转体的外周面上，磁极沿着上述销旋转体的旋转轴的轴方向形成为螺旋状；多个旋转用磁铁，对各上述磁齿轮分别设置该旋转用磁铁，该旋转用磁铁被定位成与上述磁齿轮的磁极相互吸引；以及移动机构，使上述多个旋转用磁铁沿着上述销旋转体的旋转轴的轴方向移动。