[发明专利]吸附装置、搬送装置、及光学元件的制造装置

摘要

本发明提供吸附装置、搬送搬送装置、及光学元件的制造装置，其在吸附装置内部的减压解除时，能够可靠地使预塑型坯等被吸附部件脱离。吸附装置(10)具备在内部形成有空间(18)，并具有抽气口(12A)和吸附口(14B)的装置主体，利用吸附装置(10)从抽气口(12A)对空间内进行减压，从而将预塑型坯吸附于吸附口(14B)，吸附装置(10)具备脱离部件(16)，其具有：将空间(18)分割成抽气口(12A)侧的抽气侧空间和吸附口(14B)侧的吸附侧空间的圆板(16A)；以末端能够从吸附口(14B)向外部突出的方式立起设置于圆板(16A)的脱离轴(16C)；以及使抽气侧空间内的压力比吸附侧空间的压力小的压力控制机构。

主权项

1.一种吸附装置，其具备装置主体，所述装置主体在内部形成有空间，并具有：抽气口，其与所述空间连通并与抽气装置连接；和吸附口，其朝向所述抽气口的相反侧开口，并与所述空间连通，利用所述抽气装置从所述抽气口对所述空间内进行减压，从而将被吸附部件吸附于所述吸附口，其中，所述吸附装置具备脱离部件，所述脱离部件具有：分割部，其将所述空间分割成所述抽气口侧的抽气侧空间和所述吸附口侧的吸附侧空间；和脱离轴，其以末端能够从所述吸附口向外部突出的方式立起设置于所述分割部，所述脱离部件包括压力控制机构，在利用所述抽气装置进行抽气时，所述压力控制机构使所述抽气侧空间内的压力比所述吸附侧空间的压力小，所述压力控制机构由开口构成，所述开口形成于所述分割部，其位于所述抽气口垂直地投影到所述分割部的吸附口侧表面的轮廓内的部分的总面积比所述抽气口的面积小。