[发明专利]一种新型坩埚无效
申请号: | 201410516320.2 | 申请日: | 2014-09-30 |
公开(公告)号: | CN104233197A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 陈学兵 | 申请(专利权)人: | 苏州普京真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;F27B14/10 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 刘述生 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型坩埚,包括坩埚本体、底部中间加热通道、侧面加热通道和连接法兰,所述底部中间加热通道设置在坩埚本体底部,所述侧面加热通道设置在坩埚本体侧面并且与底部中间加热通道相连接,所述坩埚本体与底部加热通道之间设置有一散热室,所述坩埚本体成方型状,所述连接法兰设置在坩埚本体上端口处。通过上述方式,本发明提供了一种新型坩埚,可防止坩埚内物体在蒸发或加热时因受热不均匀而导致部分物体蒸发,而另一部分物体还留在坩埚内部或者粘接在坩埚底部,有效的解决了坩埚内材料浪费、坩埚清洗困难、清洗不干净等缺点。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 坩埚 | ||
【主权项】:
一种新型坩埚,其特征在于,包括坩埚本体、底部中间加热通道、侧面加热通道和连接法兰,所述底部中间加热通道设置在坩埚本体底部,所述侧面加热通道设置在坩埚本体侧面并且与底部中间加热通道相连接,所述坩埚本体与底部加热通道之间设置有一散热室,所述坩埚本体成方型状,所述连接法兰设置在坩埚本体上端口处。
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