[发明专利]托盘的旋转连接组件以及应用其的反应腔室

摘要

本发明提供一种托盘的旋转连接组件以及应用其的反应腔室，包括分别固定在托盘底部中心位置和旋转轴顶部的第一连接件和第二连接件，二者相互配合的两个配合面中的每一个配合面包括至少两个斜面，以及数量与该斜面相同的定位面，斜面和定位面沿旋转轴的周向相间排列，形成一个环形曲折面；其中，每个斜面沿旋转轴的周向呈圆柱螺旋状向下倾斜；每个定位面沿旋转轴的径向延伸，且第一连接件的配合面中的各个定位面一一对应地与第二连接件的配合面中的各个定位面相对。本发明提供的托盘的旋转连接组件，其不仅可以降低安装难度，提高安装效率，而且还可以保证托盘旋转的精确度，从而可以提高机械手的取放片操作成功率和工艺结果。

主权项

1.一种托盘的旋转连接组件，包括固定在所述托盘底部中心位置的第一连接件，和固定在用于带动所述托盘旋转的旋转轴顶部的第二连接件，二者相互配合，以实现所述托盘与所述旋转轴的连接和对中，其特征在于，所述第一连接件和第二连接件相互配合的两个配合面中的每一个配合面包括至少两个斜面，以及数量与所述斜面相同的定位面，所述斜面和定位面沿所述旋转轴的周向相间排列，形成一个环形曲折面；其中，每个斜面沿所述旋转轴的周向呈圆柱螺旋状向下倾斜，每个斜面沿与所述旋转轴一个指定旋转方向相反的方向呈圆柱螺旋状向下倾斜；并且，所述第二连接件的配合面中的各个定位面的朝向与所述指定旋转方向的切线分矢量一致，且所述第一连接件的配合面中的各个定位面一一对应地与第二连接件的配合面中的各个定位面相对。