[发明专利]一种无运动部件实现大面积均匀镀膜的装置在审
| 申请号： | 201410549757.6 | 申请日： | 2014-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN104353572A | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王广才;李玉成;赵颖;张晓丹 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B12/00;B05B17/06 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种无运动部件大面积均匀镀膜的装置，由位于衬底上方的1-20组喷嘴组构成，喷头组的数量根据衬底的幅面大小来决定且要让雾化液滴的覆盖面大于衬底的宽度，每个喷嘴组由液体喷嘴和两个气体喷嘴组成，气体喷嘴在液体喷嘴的下方两侧，与垂直方向呈45°角对称设置，每一侧的气体喷嘴开启和关闭同步。本发明的优点是：该装置采用气体来控制雾化液滴的左右摆动，实现无运动部件大面积均匀镀膜，结构简单、易于实施。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运动 部件 实现 大面积 均匀 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种无运动部件大面积均匀镀膜的装置，其特征在于：由位于衬底上方的1‑20组喷嘴组构成，喷头组的数量根据衬底的幅面大小来决定且要让雾化液滴的覆盖面大于衬底的宽度，每个喷嘴组由液体喷嘴和两个气体喷嘴组成，气体喷嘴在液体喷嘴的下方两侧，与垂直方向呈45°角对称设置，每一侧的气体喷嘴开启和关闭同步。
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