[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法、OLED背板和显示装置在审
| 申请号： | 201410555601.9 | 申请日： | 2014-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN104300006A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 张慧娟;刘政 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/41 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制造方法、OLED背板和显示装置，涉及显示领域，能够降低金属与半导体之间的接触电阻，形成较理想的欧姆接触，优化薄膜晶体管的电流-电压特性。本发明提供的薄膜晶体管，包括：有源层和源漏电极，所述源漏电极与所述有源层之间形成有合金化膜层，且，形成所述合金化膜层的第一种材料与形成所述源漏电极的最底层的材料相同，形成所述合金化膜层的第二种材料与形成所述有源层的最上层的材料相同。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 oled 背板 显示装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，包括：有源层和源漏电极，其特征在于，所述源漏电极与所述有源层之间形成有合金化膜层，且，形成所述合金化膜层的第一种材料与形成所述源漏电极的最底层的材料相同，形成所述合金化膜层的第二种材料与形成所述有源层的最上层的材料相同。
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