[发明专利]防尘薄膜组件

摘要

本发明的目的，是提供一种利用减小了宽度的框架来确保更大的曝光面积，并且在防尘薄膜组件的制作、运输过程中不发生框架的变形及起皱问题，从而能够以所期望的尺寸精度将防尘薄膜粘贴于光掩模上的防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件的特征在于，其为至少一对边长是大于500mm的矩形的防尘薄膜组件，在至少一对相对边的以边长的40～80％的边中心为中心的区域，该框架的宽度通过使框架的内侧壁凹陷而变细，并且该变细的区域的框架宽度为3mm以上6mm以下。

主权项

1.一种防尘薄膜组件，其为至少一对边长是大于500mm的矩形的防尘薄膜组件，其特征在于：仅在一个方向的一对相对边的以边中心为中心的边长的40～80％的区域，该防尘薄膜组件的框架的宽度通过使框架的内侧壁凹陷而变细，并且该变细的区域的框架宽度为从3mm以上6mm以下选择的一定值。