[发明专利]一种取向膜检测机有效
申请号: | 201410567589.3 | 申请日: | 2014-10-22 |
公开(公告)号: | CN104317077B | 公开(公告)日: | 2017-08-25 |
发明(设计)人: | 井杨坤;陈传辉;顾二兴;姚利利 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1337 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 柴亮,张天舒 |
地址: | 230012 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及一种取向膜检测机,用于检测取向膜上的沟槽是否缺陷,其包括蒸汽供给机构及可密封的腔室;所述蒸汽供给机构用于向所述腔室中输入蒸汽;所述腔室用于在其内部放置设有需要检测的取向膜的基板;所述腔室的至少一部分腔壁为透明壁。上述取向膜检测机检测取向膜的沟槽是否存在缺陷时将基板放置在腔室中,提高了基板及取向膜表面各处的水珠微粒形成的速度,并使基板及取向膜表面各处的水珠微粒的厚度均匀,从而可以减少检测所需的时间,以及使检测效率检测结果的准确性提高;还可以采用机器视觉检测机构进行检测,从而可以进一步提高检测效率及检测结果的可信度。 | ||
搜索关键词: | 一种 取向 检测 | ||
【主权项】:
一种取向膜检测机,用于检测取向膜上的沟槽是否缺陷,其特征在于,所述取向膜检测机包括蒸汽供给机构及可密封的腔室;所述蒸汽供给机构用于向所述腔室中输入蒸汽;所述腔室用于在其内部放置设有需要检测的取向膜的基板;所述腔室的至少一部分腔壁为透明壁;所述取向膜检测机还包括机器视觉检测机构;所述机器视觉检测机构透过腔室的透明壁对所述腔室中的基板及取向膜进行成像;所述取向膜检测机还包括缺陷关联模块,所述缺陷关联模块用于根据取向膜上沟槽缺陷存在的位置,确定导致所述沟槽缺陷的用于对取向膜进行摩擦工艺的摩擦布上的缺陷存在的位置。
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