[发明专利]真空镀膜用实时膜厚修正板及其控制方法有效
| 申请号： | 201410577335.X | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN104313537A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 张殷;邓琪;张小飞;王静辉;吕子啸 | 申请（专利权）人： | 杰莱特（苏州）精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 山西五维专利事务所(有限公司) 14105 | 代理人： | 雷立康 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种真空镀膜用实时膜厚修正板及其控制方法。本发明主要是解决现有的膜厚修正板存在的镀膜材料浪费大、镀膜不均匀和产品质量差的技术问题。本发明的技术方案是：真空镀膜用实时膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其中：它还包括旋转膜厚修正板、旋转装置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板设在膜厚修正板支架的一边，在固定膜厚修正板上设有回转导轨，旋转膜厚修正板设在固定膜厚修正板的上面并使设置在旋转膜厚修正板上的导柱位于回转导轨中，旋转装置设在固定膜厚修正板上并位于旋转膜厚修正板的一侧。其控制方法是实时比较主监控点与辅助监控点的镀膜速率，在保证主监控点镀膜速率稳定的条件下实现快速实时膜厚分布的修正。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 实时 修正 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜用实时膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其特征在于：它还包括旋转膜厚修正板、旋转装置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板设在膜厚修正板支架的一边，在固定膜厚修正板上设有能使旋转膜厚修正板旋转的回转导轨，旋转膜厚修正板设在固定膜厚修正板的上面并使设置在旋转膜厚修正板上的导柱位于回转导轨中，旋转装置设在固定膜厚修正板上并位于旋转膜厚修正板的一侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杰莱特（苏州）精密仪器有限公司，未经杰莱特（苏州）精密仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410577335.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种利用反时差蓄能作为低温热源的热泵系统
- 下一篇：一种水冷式变形镜
- 同类专利
- 专利分类
