[发明专利]一种分体式超精密空气静压单轴转台

摘要

本发明是一种分体式超精密空气静压单轴转台，包括转台回转轴系、驱动轴系和工作台面，还包括有空气静压联轴节，所述驱动轴系通过空气静压联轴节连接并驱动转台回转轴系，所述工作台面同轴固接在转台回转轴系上，所述驱动轴系内设置有密珠轴承，所述密珠轴承的轴孔与驱动电机同轴固接，所述空气静压联轴节与密珠轴承的同轴固接，所述转台回转轴系内设置有径向空气静压轴承，所述径向空气静压轴承与空气静压联轴节同轴固接，在所述空气静压轴承的轴孔端面处同轴设置有止推空气静压轴承。采用本发明技术方案，安装精度要求降低，装调工艺简化，转台的回转精度和平面定位精度高，空气静压联轴节具有自动微调能力，运动精度高。

主权项

一种分体式超精密空气静压单轴转台，包括转台回转轴系（1）、驱动轴系（4）和工作台面（13），其特征在于，还包括有空气静压联轴节（2），所述驱动轴系（4）通过空气静压联轴节（2）连接并驱动转台回转轴系（1），所述工作台面（13）同轴固接在转台回转轴系（1）上，所述驱动轴系（4）内设置有密珠轴承（8），所述密珠轴承（8）的轴孔与驱动电机（7）同轴固接，所述空气静压联轴节（2）与密珠轴承（8）通过定位子口保证同轴，并用螺钉紧固，所述转台回转轴系（1）内设置有径向空气静压轴承（11），所述径向空气静压轴承（11）与空气静压联轴节（2）通过定位子口保证同轴，并用螺钉紧固，在所述空气静压轴承（11）的轴孔端面处同轴设置有止推空气静压轴承（12）。