[发明专利]传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置有效
申请号: | 201410594251.7 | 申请日: | 2014-10-29 |
公开(公告)号: | CN104596681B | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 松沢明;神谷俊幸;河合宏纪 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01L1/16 | 分类号: | G01L1/16;G01L5/22;G01L5/167;B25J19/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 田喜庆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置,该传感器设备具有:电荷输出元件,其具有多个压电体以及形成在各压电体之间的内部电极;外壳,其收纳电荷输出元件;第一导电性膏,其与多个内部电极电连接;以及第二导电性膏,其将第一导电性膏与输出端子电连接,并且与第一导电性膏相比弹性模量较低。另外,第一导电性膏的杨氏模量在3.4GPa以上5.0GPa以下,第二导电性膏的杨氏模量在0.1GPa以上0.2GPa以下。 | ||
搜索关键词: | 传感器 设备 检测 装置 机器人 电子 部件 输送 检查 加工 | ||
【主权项】:
一种传感器设备,其特征在于,具备:多个压电体;多个内部电极,其形成在多个所述压电体之间;外壳,其具有输出端子并收纳所述压电体;第一导电性部件,其与多个所述内部电极电连接;以及第二导电性部件,其将所述第一导电性部件与所述输出端子电连接,并且与所述第一导电性部件相比弹性模量较低。
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