[发明专利]一种超声测厚方法在审
| 申请号： | 201410600194.9 | 申请日： | 2014-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN105627956A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王耀斌 | 申请（专利权）人： | 陕西盛迈石油有限公司 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02;G01N29/04 |
| 代理公司： | 西安亿诺专利代理有限公司 61220 | 代理人： | 刘斌 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及现代工艺专用设备技术领域，具体涉及一种超声测厚方法。一种超声测厚方法，包括以下步骤：步骤1：测量数据层位置；步骤2：测量数据层厚度。本发明能够在不损坏被测器件的情况下，准确检测器件或器件中某材料层的厚度，还可以同时发现设备的内部缺陷，在产品质量控制等方面起到了很重要的作用。在超声测厚将方向具有很大的前景，在半导体封装行业发挥重要的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声 方法 | ||
【主权项】：
一种超声测厚方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：测量数据层位置；首先把超声波换能器移动至器件上方，设置好前表面门1和数据门2，选择该器件物质铜的声速，选择超声波在材料中的传输速度，然后点击确定得到测定厚度的；步骤2：测量数据层厚度；首先把超声波换能器移动至器件上方，在超声扫描显微镜的示波器显示中，添加3个门：1个前表面门3、厚度数据门4和厚度数据门5，设置前表面门3、和厚度数据门1和厚度数据门2，对不同厚度的数据层进行不同颜色标定后，得到测定厚度的结果。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西盛迈石油有限公司，未经陕西盛迈石油有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410600194.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：转速感应塞间隙的检测方法
- 下一篇：光学传感式三维高精度接触扫描测量探头
