[发明专利]角速度传感器、电子设备以及移动体有效
| 申请号： | 201410601637.6 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104596495B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 西泽竜太;中川啓史;清水教史 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5719 | 分类号： | G01C19/5719 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使在受到了绕检测轴的旋转振动的情况下也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动。本发明的角速度传感器具备：固定部(221、222)；基部(21)；将基部(21)相对于固定部(221、222)进行支承的梁部(223、224、225、226)；连接于基部(21)的驱动用振动臂(25～26)；连接于基部(21)的检测用振动臂(23、24)，在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着梁部(223、224、225、226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]时，满足f1＜f2＜f3的关系。 | ||
| 搜索关键词： | 角速度 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
1.一种角速度传感器，其特征在于，具备：基部；振动部，其连接于所述基部；检测部，其连接于所述基部，并通过与绕检测轴的角速度相对应的科里奥利力的作用而进行振动；固定部；支承部，其连接于所述固定部及所述基部；检测电路，其与所述检测部电连接，所述支承部包括一对梁部，所述检测电路的检测频带的上限频率为f1[Hz]，随着所述梁部的变形，包括所述基部、所述振动部以及所述检测部在内的质量相对于所述固定部而绕所述检测轴进行旋转振动的一次的旋转振动模式的谐振频率为f2[Hz]，偏移频率为f3[Hz]，并且满足f1＜f2＜f3的关系以及1.4≤f3/f2的关系。
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