[发明专利]检测磷化氢气体纯度的方法和装置有效
| 申请号： | 201410608292.7 | 申请日： | 2014-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN104297392A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 王瑞敏;王康;周中凯;张栓明;江卓贤 | 申请（专利权）人： | 常州宏福高端膦技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/66 | 分类号： | G01N30/66 |
| 代理公司： | 上海序伦律师事务所 31276 | 代理人： | 包文超 |
| 地址： | 213322 江苏省常州市溧*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种检测磷化氢气体纯度的方法，先将采气袋和双排管路系统抽成真空，缓慢将磷化氢气体经由双排管输入采气袋中；然后，以氮气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氢气的峰面积值SH2，以及氢气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氮气的峰面积值SN2；最后计算磷化氢的体积百分含量ωPH3。本发明检测磷化氢气体纯度的方法，解决了高纯度(60v/v％以上，尤其是90v/v％以上)磷化氢气体浓度的确定，提高检测准确性和可靠性的同时，还提高了检测操作的安全性和便捷性。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 磷化氢 气体 纯度 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种检测磷化氢气体纯度的方法，其特征在于包括：先将采气袋和双排管路系统抽成真空，缓慢将磷化氢气体经由所述双排管路系统输入采气袋中；然后，以氮气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氢气的峰面积值SH2，以及氢气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氮气的峰面积值SN2；计算待检测磷化氢气体中氢气和氮气的体积百分含量ωH2和ωN2，其中ωH2＝SH2×fH2，ωN2＝SN2×fN2；计算磷化氢的体积百分含量ωPH3，ωPH3＝100％‑ωH2‑ωN2；所述的fH2为氢气的校正因子，是以氮气作载气，采用热导检测器测定氢气和氮气标准混合气中体积百分比为ω标H2的氢气的峰面积值S标H2，而计算得出，fH2＝ω标H2/S标H2；所述的fN2为氮气的校正因子，是以氢气作载气，采用热导检测器测定氢气和氮气标准混合气中体积百分比为ω标N2的氮气的峰面积值S标N2，而计算得出fN2＝ω标N2/S标N2。
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