[发明专利]软性透光物体中蚀刻图案的检测装置及方法有效
| 申请号： | 201410612880.8 | 申请日： | 2014-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN104330418B | 公开（公告）日： | 2017-06-16 |
| 发明（设计）人： | 邹美芳;姚毅;张利飞;华旭东;周尧 | 申请（专利权）人： | 北京凌云光技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)11363 | 代理人： | 逯长明,许伟群 |
| 地址： | 100195 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种软性透光物体中蚀刻图案的检测装置及方法。所述软性透光物体中蚀刻图案的检测装置包括横向设置的玻璃支撑板，玻璃支撑板的上表面开有多条相互连通的凹槽；其中一条凹槽的底部设有与玻璃支撑板外部连通的通孔，通孔与玻璃支撑板外部的吸风装置连通，玻璃支撑板的上方设置图像采集装置，设置于玻璃支撑板下方并发射漫射光的面光源；面光源为每条凹槽提供的漫射光在玻璃支撑板上形成的照射区域的中心与每条对应凹槽的中心在同一垂线上，且照射区域的横向宽度与对应凹槽的横向宽度成设定比例，以使漫射光进入玻璃支撑板并由每条对应凹槽边缘射出后进入图像采集设备的接收器。本发明中的检测装置能够大幅降低被检测物的误检率。 | ||
| 搜索关键词： | 软性 透光 物体 蚀刻 图案 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种软性透光物体中蚀刻图案的检测装置，包括横向设置的玻璃支撑板，所述玻璃支撑板的上表面开有多条相互连通的凹槽；其中一条凹槽的底部设有与玻璃支撑板外部连通的通孔，所述通孔与所述玻璃支撑板外部的吸风装置连通，所述玻璃支撑板的上方设置图像采集装置，其特征在于，所述检测装置还包括：设置于所述玻璃支撑板下方并发射漫射光的面光源；所述面光源为每条凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的中心与每条对应凹槽的中心在同一垂线上，且所述照射区域的横向宽度与对应凹槽的横向宽度成设定比例，以使所述漫射光进入所述玻璃支撑板并由每条凹槽边缘射出后进入所述图像采集设备的接收器；所述面光源为每条凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的横向宽度与对应凹槽的横向宽度之比为5～10:1。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京凌云光技术有限责任公司，未经北京凌云光技术有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410612880.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：消除干扰频率的方法和消除干扰频率的系统
- 下一篇：锥形气隙推挽式永磁同步电机
