[发明专利]基板液处理装置和基板液处理方法

摘要

本发明提供向基板供给精确浓度的处理液的基板液处理装置和基板液处理方法。基板液处理装置具备：罐(102)；循环管线(104)；处理部(16)，其经由分支管线(112)连接于循环管线，用于使用在循环管线中流动的处理液来对基板实施液处理；处理液生成机构(206A、206B、208)，其用于将从至少两种原料液各自的供给源供给的原料液以控制好的混合比混合而生成处理液；浓度测量装置(212(或212’))，其用于测量在循环管线中流动的处理液的浓度和在处理液供给管线中流动的处理液的浓度；以及控制装置(4)，其用于基于测量出的处理液的浓度来控制处理液生成机构。

主权项

1.一种基板液处理装置，其特征在于，该基板液处理装置具备：罐，其用于积存将至少两种原料液混合而成的处理液；循环管线，其供处理液以从所述罐流出并返回到所述罐的方式流动；液处理部，其被配置为使用循环管线中流动的处理液来对基板实施液处理；处理液生成机构，其用于将从所述至少两种原料液各自的供给源供给的原料液混合而生成处理液；处理液供给管线，其用于向所述罐供给由所述处理液生成机构生成的处理液；浓度测量装置，其用于测量在所述循环管线中流动的处理液的浓度和在所述处理液供给管线中流动的处理液的浓度；以及控制装置，其用于基于由所述浓度测量装置测量出的处理液的浓度控制所述处理液生成机构，以使得在所述循环管线中流动的处理液的浓度和在所述处理液供给管线中流动的处理液的浓度成为预先决定好的范围内的浓度，该基板液处理装置还具备浓度测量用的取出管线，该取出管线用于取出在所述循环管线中流动的处理液并将处理液输送到所述处理液供给管线，所述浓度测量装置设于所述处理液供给管线，能够测量利用所述处理液生成机构生成的处理液的浓度和从所述循环管线经由所述取出管线被输送到所述处理液供给管线的处理液的浓度这两者。