[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

摘要

本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，振动元件实现了超小型，振子、振荡器、电子设备以及移动体具有该振动元件。振动元件(2)具有石英振动片(3)，该石英振动片(3)具有：基部(4)；以及一对振动臂(5、6)，它们与基部(4)一体地设置，在X轴方向上并排且从基部(4)起沿Y’轴方向延伸，振动臂(5、6)包含：臂部(51、61)；以及锤头(59、69)，其位于该臂部(51、61)的末端侧，且沿着X轴方向的长度比臂部(51、61)长，在设振动臂(5、6)的厚度为T，锤头(59、69)彼此的沿着X轴方向的相隔距离为W4时，满足0.033T＜W4＜0.330T[μm]的关系。

主权项

1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件包含：基部；以及一对振动臂，它们在俯视时从所述基部起沿着第1方向延伸，包含施重部和配置于所述基部与所述施重部之间的臂部，沿着与所述第1方向垂直的第2方向并排配置，在设所述振动臂的厚度为T，所述施重部彼此的沿着所述第2方向的相隔距离为W4时，满足0.033T＜W4＜0.330T[μm]，所述振动臂具备相互处于正反关系的第1主面和第2主面，并且具有设于所述第1主面侧的第1槽和设于所述第2主面侧的第2槽，在设所述第1槽的深度与所述第2槽的深度的合计为ta，ta/T为η，俯视时所述振动臂的沿着所述第1方向的外缘的一方与所述第1槽之间的所述第1主面的沿着所述第2方向的宽度、或者所述外缘的一方与所述第2槽之间的所述第2主面的沿着所述第2方向的宽度为W3时，满足4.236×10×η2－8.473×10×η+4.414×10[μm]≤W3≤－3.367×10×η2+7.112×10×η－2.352×10[μm]。