[发明专利]带编码光罩子版制造方法在审
| 申请号： | 201410648593.2 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104460239A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;冯俊;林伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市维邦知识产权事务所 44269 | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种带编码光罩子版制造方法，该方法包括以下步骤：提供光罩母版，在母版上形成光罩图案；在透光片上制作条码，将透光片置于光罩母版非图案的边缘，并使条码面对光罩母版；选取具有光刻胶层的子版版材，将光罩母版置于子版版材上，并使光罩图案面对于光刻胶层；将放置好的透光片、光罩母版及子版版材进行曝光，显影，蚀刻，在子版版材上形成所需编码，制得所需光罩子版。该方法借助透光片，将透光片上的条码转移到光罩子版，对光罩子版进行编码，便于区分和管理，产品安全性和可操作性得到极大的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 编码 罩子 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种带编码光罩子版制造方法，其包括如下步骤：提供光罩母版，在母版上形成光罩图案；在一个透光片上制作条码，将透光片置于光罩母版非图案的边缘；选取具有光刻胶层的子版版材，将光罩母版置于子版版材上，并使光罩图案面对于光刻胶层；将放置好的透光片、光罩母版及子版版材进行曝光，显影，蚀刻，在子版版材上形成所需编码，制得所需光罩子版。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市路维光电股份有限公司，未经深圳市路维光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410648593.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：对准装置及方法
- 下一篇：用于光刻的高生产量和小占位面积扫描曝光的系统和方法
