[发明专利]膜片式压电驱动器缺陷检测方法

摘要

本发明属于压电驱动器缺陷检测技术，涉及一种激光陀螺用压电驱动器的缺陷检测方法。本发明属于膜片式压电驱动器检测方法，通过测试膜片式压电驱动器的幅频特性曲线，即通过压电元件内部缺陷、压电陶瓷片与连接基体的连接的缺陷对压电元件的振动模式的影响，从而定性检测压电片的内部缺陷、压电陶瓷片与连接基体的连续性缺陷检测。依靠本方法，可实现检测压电元件的内部缺陷和压电驱动器连接层的连续性缺陷检测，且操作简单，易行，实现了无损检测。相对传统检测方式，可直接检测产品缺陷和连接层缺陷，有检测效率高、检测精度高、检测成本低的优点。

主权项

一种膜片式压电驱动器缺陷检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、将压电陶瓷片的正负电极分别连接到幅频特性测试检测设备，输出幅频特性曲线，通过判断幅频特性上的毛刺，确定该压电陶瓷片内部有无缺陷；如果幅频特性曲线上有毛刺，则认为有缺陷，剔除该压电陶瓷片，反之，则认为没有内部缺陷；步骤2：将没有内部缺陷的两个压电陶瓷片和基底材料通过焊接或胶粘连接在一起形成压电驱动器，其中，该基底材料设置在两个压电陶瓷片之间；步骤3：分别引出两个压电陶瓷片的正极连接线和负极连接线，并分别连接到幅频特性测试检测设备，并输出两个压电陶瓷片各自幅频特性曲线；步骤4、任何一个压电陶瓷片的幅频特性曲线出现毛刺时，认为存在连接层缺陷，则剔除整个驱动器，只有当两个压电陶瓷片的幅频特性曲线均无毛刺时，则认为没有缺陷。