[发明专利]翻转装置、基板对盒系统及基板对盒方法有效
申请号: | 201410654593.3 | 申请日: | 2014-11-17 |
公开(公告)号: | CN104360507B | 公开(公告)日: | 2018-01-30 |
发明(设计)人: | 井杨坤;桑胜光;孙国防;刘志强;张周生;车晓盼;郑潭冬 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 柴亮,张天舒 |
地址: | 230012 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供一种翻转装置、基板对盒系统以及基板对盒方法,属于对盒工艺技术领域,其可解决现有的翻转装置的工作效率低的问题。本发明的翻转装置,其包括固定支架,以及与固定支架通过竖直旋转轴连接的翻转平台,所述翻转平台具有相对设置用于驱动吸附基板的第一吸附面和第二吸附面;所述翻转装置还包括分别用于第一吸附面和第二吸附面在水平方向上发生旋转的第一水平旋转轴和第二水平旋转轴,真空吸附单元以及控制单元,所述控制单元用于控制真空吸附单元通过所述第一吸附面或所述第二吸附面吸附基板,所述翻转平台通过竖直旋转轴翻转被吸附的基板。本发明的翻转装置可以实现预对位功能,同时还可以大大提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 翻转 装置 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种翻转装置,其包括:固定支架,以及与固定支架通过竖直旋转轴连接的翻转平台,其特征在于,所述翻转平台具有相对设置用于吸附基板的第一吸附面和第二吸附面;所述翻转装置还包括分别用于驱动第一吸附面和第二吸附面在水平方向上发生旋转的第一水平旋转轴和第二水平旋转轴,真空吸附单元以及控制单元,所述控制单元用于控制真空吸附单元通过所述第一吸附面或所述第二吸附面吸附基板,所述翻转平台通过竖直旋转轴翻转被吸附的基板;在所述第一吸附面和第二吸附面上均设置有对位摄像头,该摄像头用于采集第一吸附面上或者第二吸附面上的所吸附的基板的位置,从而将该位置信息发送给控制单元,以便该控制单元将被吸附的基板与其将要对盒的对盒基板的位置进行比较,从而通过第一水平旋转轴或者第二水平旋转轴旋转吸附在对应吸附面上的基板,进而使得被吸附的基板与其将要对盒的对盒基板进行预对位。
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