[发明专利]芯片封装方法及封装基底在审
申请号: | 201410663745.6 | 申请日: | 2014-11-19 |
公开(公告)号: | CN104409366A | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
发明(设计)人: | 刘江涛 | 申请(专利权)人: | 三星半导体(中国)研究开发有限公司;三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L23/13;H01L23/31 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩芳 |
地址: | 215021 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种芯片封装方法及封装基底,所述芯片封装方法包括:制备基板,所述基板具有用于芯片封装件的导电结构;在基板上形成分隔条,以将基板分为多个区域;在每个区域中形成芯片封装件;沿分隔条将基板分开。利用本发明的芯片封装方法及封装基底,能够防止封装件的翘曲。 | ||
搜索关键词: | 芯片 封装 方法 基底 | ||
【主权项】:
一种芯片封装方法,该方法包括:制备基板,所述基板具有用于芯片封装件的导电结构;在基板上形成分隔条,以将基板分为多个区域;在每个区域中形成芯片封装件;沿分隔条将基板分开。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造