[发明专利]蚀刻剂和使用其制造显示器的方法

摘要

本发明涉及蚀刻剂和使用其制造显示器的方法。所述蚀刻剂包括基于所述蚀刻剂的总量的约0.5‑约20重量％的过硫酸盐、约0.01‑约2重量％的氟化合物、约1‑约10重量％的无机酸、约0.5‑约5重量％的唑化合物、约0.1‑约5重量％的给电子化合物、约0.1‑约5重量％的氯化合物、约0.05‑约3重量％的铜盐、约0.1‑约10重量％的有机酸或有机酸盐、和余量的水。

主权项

1.蚀刻剂，包括基于所述蚀刻剂的总量的：0.5‑20重量％的过硫酸盐；0.01‑2重量％的氟化合物；1‑10重量％的无机酸；0.5‑5重量％的唑化合物；0.1‑5重量％的给电子化合物；0.1‑5重量％的氯化合物；0.05‑3重量％的铜盐；0.1‑10重量％的有机酸或有机酸盐；和余量的水，其中所述给电子化合物为环状有机酸或环状有机酸盐，其中所述环状有机酸包括选自如下的至少一种：松香酸、间氨基苯磺酸、核黄素、叶酸、没食子酸和抗坏血酸，和所述环状有机酸盐包括选自如下的至少一种：所述环状有机酸的钾盐、钠盐、钙盐和铵盐，和其中所述有机酸包括选自如下的至少一种：乙酸、丁酸、柠檬酸、甲酸、葡糖酸、羟基乙酸、丙二酸、草酸、戊酸、磺基苯甲酸、磺基琥珀酸、磺基邻苯二甲酸、水杨酸、磺基水杨酸、苯甲酸、乳酸、甘油酸、琥珀酸、苹果酸、酒石酸、异柠檬酸、丙烯酸、亚氨基二乙酸和乙二胺四乙酸，和所述有机酸盐包括选自如下的至少一种：所述有机酸的钾盐、钠盐和铵盐。