[发明专利]面板入料检验装置在审
| 申请号： | 201410677364.3 | 申请日： | 2014-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN104465438A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡瑜;于宗亚;董宁;袁斌 | 申请（专利权）人： | 业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华新*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种面板入料检验装置，包括一进料处，放置至少一面板；一机械手臂，其底部设有一吸盘机构，从进料处吸取面板；一灯箱，提供一光源照射面板，且灯箱可翻转，机械手臂移动至灯箱上使光源照射该面板；以及一收料处，放置检测完毕之面板。因此面板从入料到检测完成放置到收料处的过程可完全自动化，不需人力搬运，并提供可多角度翻转的灯箱，使面板放置在灯箱上后，便于进行各角度的检验，从而提高检验效率及准确率，并降低人工取放片可能造成的破损。 | ||
| 搜索关键词： | 面板 检验 装置 | ||
【主权项】：
一种面板入料检验装置，其特征在于，包括：一进料处，放置至少一面板；一机械手臂，其底部设有一吸盘机构，从该进料处吸取该面板；一灯箱，提供一光源，该机械手臂移动至该灯箱上使该光源照射该面板，且该灯箱可翻转以利检测；以及一收料处，放置检测完毕之该面板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
