[发明专利]形状可变镜以及激光加工装置在审
| 申请号： | 201410682333.7 | 申请日： | 2014-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN104646823A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 石塚智彦;小林信高;泷川靖弘 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/042;B23K26/38 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 目的在于得到一种不受针对反射镜的粘接的制约，能够对像散进行校正的形状可变镜以及激光加工装置。具有：第一按压部件，其对反射镜(1)的反射面(1sf)外周部的相对的2个部位(Pxf)进行按压；第二按压部件，其对反射镜(1)的背面(1sb)外周部的相对的2个部位(Pyb)进行按压；以及变形量调整部(4)，其以第一按压部件按压反射面(1sf)的位置、和第二按压部件按压背面(1sb)的位置，绕穿过反射面(1sf)的中心的轴而成为不同的位置的方式，对第二按压部件相对于第一按压部件的绕轴的位置进行定位，并且使轴向上的第一按压部件和第二按压部件的间隔变化，对由按压引起的反射镜(1)的变形量进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 可变 以及 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种形状可变镜，其特征在于，具有：反射镜；第一按压部件，其与所述反射镜的反射面外周部的相对的2个部位接触，从所述反射面侧按压所述反射镜；第二按压部件，其与所述反射镜的背面外周部的相对的2个部位接触，从所述背面侧按压所述反射镜；以及变形量调整部，其以所述第一按压部件按压所述反射面的位置、和所述第二按压部件按压所述背面的位置，绕穿过所述反射面的中心的轴而成为不同的位置的方式，对所述第二按压部件相对于所述第一按压部件的绕所述轴的位置进行定位，并且使所述轴向上的所述第一按压部件和所述第二按压部件的间隔变化，对由所述按压引起的所述反射镜的变形量进行调整。
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