[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明提供基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置包括：工序腔室；及排气单元，其具有连接于工序腔室的排气管线及设置于排气管线并调节工序腔室内的压力的泵。而且，排气管线由高速配管及多个低速配管构成。本发明还提供一种基板处理方法，该方法将工序腔室内部减压至工序压力以对基板进行处理，该减压在使工序腔室内部达到设定压力之前关闭高速阀，打开低速阀中选择的低速阀；达到设定压力后，关闭该低速阀中选择的低速阀，打开高速阀。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置包括：工序腔室；以及排气单元，该排气单元具有连接于所述工序腔室的排气管线及设置于所述排气管线并调节所述工序腔室内的压力的泵；所述排气管线包括：高速配管，所述高速配管设置有对流体通路内部进行开闭的高速阀；以及与所述高速配管连接的多个低速配管，所述低速配管具有小于所述高速配管的直径，且所述低速配管设置有针对其内部进行开闭的低速阀。