[发明专利]静电驱动阶梯型微悬臂梁吸合电压的预测方法和系统在审
| 申请号： | 201410706241.8 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN104462680A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 朱军华;何小琦;苏伟;宋芳芳;黄钦文;恩云飞;刘人怀 | 申请（专利权）人： | 工业和信息化部电子第五研究所 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 王程 |
| 地址： | 510610 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电驱动阶梯型微悬臂梁吸合电压的预测方法和系统，其方法包括步骤：建立阶梯型微悬臂梁与衬底固定电极之间的间隙模型；建立所述阶梯型微悬臂梁在静电力作用下发生的变形的试函数模型；按照阶梯型微悬臂梁的横截面大小对其进行区域划分，得到多个梁单元，根据所述梁单元的结构参数以及所述阶梯型微悬臂梁的材料参数确定所述阶梯型微悬臂梁的加权刚度，其中，所述材料参数包括材料特征长度参数；根据所述间隙模型以及所述试函数模型计算所述阶梯型微悬臂梁的吸合位置系数；根据所述吸合位置系数以及所述加权刚度确定所述阶梯型微悬臂梁的吸合电压，可以在提高预测结果的精确性的同时减少计算量，而且可以体现尺度效应的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 阶梯 悬臂梁 电压 预测 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种静电驱动阶梯型微悬臂梁吸合电压的预测方法，其特征在于，包括如下步骤：建立阶梯型微悬臂梁与衬底固定电极之间的间隙模型；建立所述阶梯型微悬臂梁在静电力作用下发生的变形的试函数模型；按照所述阶梯型微悬臂梁的横截面大小对所述阶梯型微悬臂梁进行区域划分，得到多个梁单元，根据所述梁单元的结构参数以及所述阶梯型微悬臂梁的材料参数确定所述阶梯型微悬臂梁的加权刚度，其中，所述材料参数包括材料特征长度参数；根据所述间隙模型以及所述试函数模型计算所述阶梯型微悬臂梁的吸合位置系数；根据所述吸合位置系数以及所述加权刚度确定所述阶梯型微悬臂梁的吸合电压。
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