[发明专利]靶材加工方法在审
| 申请号： | 201410713022.2 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN105695943A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;汪军坤 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材加工方法，包括：提供靶材，靶材包括待喷砂区域以及不需要喷砂的保留区域；至少在靶材保留区域靠近待喷砂区域的部分，以及部分待喷砂区域粘贴保护层；去除位于待喷砂区域的保护层，以完全露出靶材的待喷砂区域；对靶材的待喷砂区域进行喷砂处理；在喷砂处理的步骤之后，去除靶材上剩余的保护层。本发明的有益效果在于：利于提升在靶材上覆盖保护层的效率；靶材与保护层之间没有间隙，喷砂颗粒不会进入到靶材保留区域表面与保护层之间，进而很好的保护了靶材的保留区域，提升靶材的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材加工方法，其特征在于，包括：提供靶材，所述靶材包括待喷砂区域以及不需要喷砂的保留区域；至少在所述保留区域靠近待喷砂区域的部分，以及部分待喷砂区域粘贴保护层；去除位于待喷砂区域的保护层，以完全露出靶材的待喷砂区域；对靶材的待喷砂区域进行喷砂处理；在喷砂处理的步骤之后，去除靶材上剩余的保护层。
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