[发明专利]一种光刻工艺热点的自动修复方法

摘要

本发明涉及DFM可制造图形设计领域，尤其是涉及到一种光刻工艺热点的自动修复方法，首先对版图进行光刻工艺友善性检查；之后通过光刻工艺友善性检查生成光刻工艺热点的位置标记，并根据位置标记生成光刻工艺热点的考量数据区域和模拟区域，最后对数据区域的版图进行修改，并通过检查工具套件对修改进行有效性判定，以提供一种合适的修复方案；该技术方案实现了版图中的光刻工艺热点的快速自动修复和验证，实现了高程度的自动化要求，且其可制造性设计方案的操作性和效率大大提高，修复周期较短，一定程度上降低了时间成本。

主权项

1.一种光刻工艺热点的自动修复方法，其特征在于，所述方法包括：步骤S1、提供一版图，并通过一检查工具套件对版图进行光刻工艺友善性检查；步骤S2、根据光刻工艺友善性检查的结果，判断版图中是否存在光刻工艺热点，若存在则进行步骤S3，否则结束修复；步骤S3、通过光刻工艺友善性检查生成光刻工艺热点的位置标记，并根据位置标记生成光刻工艺热点的考量数据区域和模拟区域；步骤S4、通过一修改工具套件对考量数据区域的版图进行修改，并通过检查工具套件对修改进行有效性判定；步骤S5、保留有效的版图的修复方案；其中，所述考量数据区域和所述模拟区域为位置标记的放大区域；所述考量数据区域的半径为b，所述模拟区域的半径为c，c>b，且c‑b>光学模型半径。