[发明专利]一种红外剩余反射率光谱测试附件及测试方法

摘要

本发明属于反射率光谱测量技术领域，具体涉及一种红外剩余反射率光谱测试附件及测试方法。本发明研制专用的红外剩余反射率光谱测试附件，将需要在被测样品上两次反射的反射率测量光路转换成在被测样品上单次反射的反射率测量光路，对减反射薄膜的剩余反射率光谱进行测量。该测试方法的优点在于可以明显提高低反射率光谱的测量精度，特别是对于减反射薄膜剩余反射率光谱的测量效果更为明显，同时该方案对测试样品尺寸没有限制，可以测试大尺寸样品。

主权项

一种红外剩余反射率光谱测试附件，其特征在于，其设置为：分别测量标准反射镜的尺寸、标准反射镜距离前、后、左、右参考位置的距离、以及标准反射镜在校准时所在平面与参考平面之间的距离；根据测试结果设计所述测试附件，使测试光路与背景扫描光路一致，在不改变VW型绝对反射附件校准光路即V型光路的前提下，使测试附件替代VW型绝对反射附件的镀金反射镜标准片的位置，以达到测试被测样品红外反射光谱的目的；所述红外剩余反射率光谱测试附件具体提供如下方式获得：选定VW型绝对反射附件支撑选择装置的两侧支架的上表面为参考平面，测量参考平面与校准光路设置的镀金反射镜标准片反射面之间的距离t，由此设置红外剩余反射率光谱测试附件的厚度为t；测量两侧支架外侧的距离为l，由此设置红外剩余反射率光谱测试附件的内侧长度为l，红外剩余反射率光谱测试附件两侧设置适当长度的凸出，用于与标准附件的两侧支架配合定位；测量两侧支架顶端的宽度w，由此设置红外剩余反射率光谱测试附件的宽度为w；测量镀金反射镜标准片的长度a和宽度b，以及其中心位置，在红外剩余反射率光谱测试附件上的相应位置处设置出长度为α*a、宽度为β*b的长方形孔，其中α≥1，β≥1.4。