[发明专利]高效率高准确度加热器驱动器

摘要

本发明揭示了一种快速热处理腔室，所述快速热处理腔室具有灯具驱动电路，灯具驱动电路包含两个晶体管和两个二极管。快速热处理腔室包含多个卤素灯具、灯具驱动器、测量晶片温度的温度传感器以及连接至温度传感器和灯具驱动器的温度控制器，温度控制器提供控制信号给灯具驱动器，控制信号为晶片温度与期望温度的函数。灯具驱动器包含由控制信号控制的两个晶体管，使得供应给多个卤素灯具的功率的功率因数(power factor)在0.9到1之间的范围。

主权项

一种处理晶片的快速热处理腔室，所述快速热处理腔室包含：多个灯具；功率源，所述功率源包含具有第一开关和第二开关的交流功率源，所述功率源连接至所述多个灯具以供应功率给所述多个灯具；温度传感器，所述温度传感器测量所述晶片的温度；以及温度控制器，所述温度控制器连接至所述温度传感器并且连接至所述功率源中的所述第一开关和所述第二开关，所述温度控制器提供第一控制信号给所述第一开关，提供第二控制信号给所述第二开关，所述第一控制信号和所述第二控制信号为所述晶片温度和期望温度的函数；其中所述第一控制信号在所述交流功率的每半个周期中开启和关闭所述第一开关多次，所述第二控制信号在所述交流功率的每半个周期中开启和关闭所述第二开关多次。