[发明专利]一种掩模上版装置及校准方法有效
| 申请号： | 201410724479.3 | 申请日： | 2014-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN105717751B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 刘晓;袁剑峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩模上版装置，其特征在于，包括：传输机构，用于传输掩模版，所述传输机构包括第一第二机械手以及气缸，所述第一第二机械手的一端与所述气缸固定，所述第一机械手用于将所述掩模版从版库内取出传输至机械预对准装置以实现所述掩模版预对准，所述第二机械手用于将完成预对准的掩模版自所述机械预对准装置传输至掩模台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩模上版 装置 校准 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩模上版装置，其特征在于，包括：传输机构，用于传输掩模版，所述传输机构包括第一、第二机械手以及气缸，所述第一机械手的一端和所述第二机械手的一端分别与所述气缸固定，所述第一机械手用于将所述掩模版从版库内取出传输至机械预对准装置以实现所述掩模版预对准，所述第二机械手用于将完成预对准的掩模版自所述机械预对准装置传输至掩模台，所述掩模台包括四象限传感器，所述掩模上版装置能够实现自校准，所述机械预对准装置的偏移量通过所述第二机械手重复上载掩模版，配合预先校准的所述四象限传感器获得，根据所述偏移量对所述机械预对准装置校准，并建立不同掩模版的外形偏差数据库。
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