[发明专利]一种集成超声结构的电容式湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201410724904.9 | 申请日： | 2014-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN104391015A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 黄见秋;陈文浩 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 黄成萍 |
| 地址： | 214135 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成超声结构的电容式湿度传感器及其制法，电容式湿度传感器包括超声换能器结构和若干湿度敏感电容结构，湿度敏感电容结构设置在超声换能器结构上方；超声换能器结构包括由下至上依次设置的衬底、压电材料层和中间金属层，湿度敏感电容结构包括由下至上依次设置的绝缘层、叉指电极、钝化层和湿敏材料层，绝缘层设置在中间金属层上；衬底的下表面通过腐蚀形成空腔，用于调节衬底厚度，进而调节超声换能器结构的谐振频率。在一定频率的电信号作用下，超声换能器释放出超声信号，使水分子获得能量，提高运动速率，更快地在湿敏材料中扩散或逸出，从而提高传感器的响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 超声 结构 电容 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种集成超声结构的电容式湿度传感器，其特征在于：包括超声换能器结构和若干湿度敏感电容结构，湿度敏感电容结构设置在超声换能器结构上方；所述超声换能器结构包括由下至上依次设置的衬底(1)、压电材料层(2)和中间金属层(3)，湿度敏感电容结构包括由下至上依次设置的绝缘层(4)、叉指电极(5)、钝化层(6)和湿敏材料层(7)，绝缘层(4)设置在中间金属层(3)上；所述衬底(1)的下表面通过腐蚀形成空腔，用于调节衬底厚度，进而调节超声换能器结构的谐振频率。
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