[发明专利]一种可进行热化学气相沉积的原位测试平台在审
| 申请号： | 201410748503.7 | 申请日： | 2015-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN104502367A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 朱大明;李晓龙;刘春泽;顾月良;阴广志;高兴宇;黎忠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪;余中燕 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可进行热化学气相沉积的原位测试平台，包括：高温热台反应腔体，其包括热台底座以及真空外罩，该真空外罩包括框架主体以及紧密安装在该框架主体上的入射窗片和出射窗片；陶瓷加热台，安装在热台底座上以承载一样品；温度控制系统，用以实时调节陶瓷加热台的温度；真空系统，用以对高温热台反应腔体内抽真空；反应气体混气系统，用以为高温热台反应腔体内提供热化学气相沉积所需的气源；以及真空测量系统，用以实时监测高温热台反应腔体内的气体压强。本发明可以透过x射线，又可在线调节温度、气压、气流等反应条件，从而能够以在线的方式对热化学气相沉积过程中材料的生长、物相变化等过程进行实时原位的表征与研究。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 进行 热化学 沉积 原位 测试 平台 | ||
【主权项】：
一种可进行热化学气相沉积的原位测试平台，其特征在于，该原位测试平台包括：高温热台反应腔体，其包括热台底座以及固定安装在所述热台底座上的真空外罩，其中，所述真空外罩包括框架主体以及紧密安装在该框架主体上以供X射线透过的入射窗片和出射窗片；陶瓷加热台，其安装在所述热台底座上以承载一样品，并且其内部设有电热丝和热电偶；温度控制系统，其连接至所述电热丝和所述热电偶，以实时调节所述陶瓷加热台的温度；真空系统，其与所述高温热台反应腔体连通，以对所述高温热台反应腔体内抽真空；反应气体混气系统，其与所述高温热台反应腔体连通，以为所述高温热台反应腔体内提供热化学气相沉积所需的气源；以及真空测量系统，其与所述高温热台反应腔体连通，以实时监测所述高温热台反应腔体内的气体压强。
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