[发明专利]用于控制工件货批制程的方法、储存媒体和系统

摘要

本发明涉及用于控制工件货批制程的方法、储存媒体和系统，提供一种方法，包含以至少一个第一设备处理多个货批的各者并将一部份的该多个货批移动到第一储存设备。对多个第二设备的各者，判定将由该第二设备处理的一个或多个接续货批的预期派送时间。以至少所判定的该预期派送时间为基础，指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者，并将该些货批的各者移动到多个第二储存设备的一者，该第二储存设备的该一者是关联于各别的该货批所指派的该多个第二设备的一者。对该多个第二设备的各者，将在关联于该第二设备的该第二储存设备中的该些货批的各者移动到该第二设备，并以该第二设备来处理。

主权项

1.一种用于制造半导体装置的方法，包括：以各别的至少一个第一设备处理多个货批的各者，其中，该多个货批的各者包含多个半导体晶圆，其中，该至少一个第一设备的各者对由各别的该第一设备处理的该多个货批的各者中的各晶圆实行半导体制程的一个或多个第一步骤；将至少一部分 的该多个货批从该各别的该至少一个第一设备移动到第一储存设备；对多个第二设备的各者，判定将由该第二设备处理的一个或多个接续货批的预期派送时间，其中，该多个第二设备的各者对由各别的该第二设备处理的该多个货批的各者中的各晶圆实行半导体制程的一个或多个第二步骤；至少以判定的该预期派送时间为基础，指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者，其中，该指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者的步骤额外地在下列的基础上实行，该基础包含该些货批的各者的优先次序、目前在该多个第二储存设备的各者中的货批数量以及该第二储存设备的各者的状态；将在该第一储存设备中的该些货批的各者移动到多个第二储存设备的一者，该第二储存设备的该一者是关联于各别的该货批所指派的该多个第二设备的一者；以及对该多个第二设备的各者，将该第二储存设备中关联于该第二设备的该一者的该些货批的各者移动到该第二设备，并以该第二设备处理来自关联于该第二设备的该第二储存设备的该些货批，其中，该多个第二储存设备的各者比该第一储存设备更靠近该多个第二设备中关联于该第二储存设备的该一者，且该第一储存设备的储存空间大于任何该多个第二储存设备的储存空间。