[发明专利]基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法有效
| 申请号： | 201410779031.1 | 申请日： | 2014-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN104503100B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 刘代中;秦海棠;欧阳小平;王阳;杨冬;朱宝强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/30 | 分类号： | G02B27/30 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人： | 张泽纯,张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法，装置包括一紧贴空间滤波器小孔后放置的透射光栅，光栅中心有一个直径大于焦斑直径的圆形未刻蚀区；发光二极管和准直透镜构成准直的非相干照明光源，照射所述的透射光栅；由成像透镜和远场探测器置于所述的透射光栅的衍射光束方向构成远场成像系统，所述的远场探测器的输出接一计算机；计算机控制的需要自准直调整的晶体。本发明具有设备简、调整易和精度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光栅 衍射 晶体 调整 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于光栅衍射的晶体自准直调整装置，特征在于其构成包括：在主激光方向依次是空间滤波器(5)和待调整的晶体(10)，在空间滤波器(5)的小孔(3)的后面紧贴其小孔板放置透射光栅(4)，且小孔(3)的中心和透射光栅(4)的中心重合，主激光穿过小孔(3)和透射光栅(4)，最终照射到待调整的晶体(10)上，透射光栅中心有一个直径大于焦斑直径的圆形未刻蚀区；发光二极管(6)和准直透镜(7)构成准直的非相干照明光源，照射所述的透射光栅(4)；由成像透镜(8)和远场探测器(9)置于所述的透射光栅(4)的衍射光束方向构成远场成像系统，所述的远场探测器(9)的输出端接计算机的输入端；该计算机控制需要自准直调整的晶体(10)。
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