[发明专利]蒸镀源和蒸镀装置在审
| 申请号： | 201410784050.3 | 申请日： | 2014-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN104404451A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 黄俊淞;叶岚凯 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀源和蒸镀装置。所述蒸镀源内设置有沿其长度方向分布的加热件，所述加热件包括多个串联的加热部，对应于所述蒸镀源的长度方向的两端位置的加热部的热功率大于对应于所述蒸镀源的长度方向的中间位置的加热部的热功率。本发明中设置在蒸镀源两端位置的加热部的热功率比设置在中间位置的加热部的热功率大，因此能够补偿蒸镀源两端的热量散失，使蒸镀源内的温度分布更加均匀，从而使蒸镀材料的消耗速率更均匀，延长了蒸镀源的使用周期。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀源 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀源，所述蒸镀源内设置有沿其长度方向分布的加热件，其特征在于，所述加热件包括多个串联的加热部，对应于所述蒸镀源的长度方向的两端位置的加热部的热功率大于对应于所述蒸镀源的长度方向的中间位置的加热部的热功率。
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