[发明专利]一种红外光源及其制备方法在审
| 申请号： | 201410785061.3 | 申请日： | 2014-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN104576860A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 纪新明 | 申请（专利权）人： | 太仓微芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/10 | 分类号： | H01L33/10;H01L33/20;H01L33/38;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 215400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及红外技术领域，公开了一种红外光源及其制备方法。本发明中，红外光源，包含：衬底、反射层、支撑体与图形化电极；反射层淀积在衬底之上；支撑层淀积在反射层上，图形化电极淀积在支撑层之上，等离子体反应离子刻蚀(RIE)去除非图形区域支撑层材料，获取图形化电极的支撑体，其中，支撑体的横截面的图形与图形化电极的图形相同且重合。与现有技术相比，非悬空支撑体结构，提高了器件的机械强度，产品良率，保证了器件寿命；同时，由于非图形化支撑体区域为空隙，可以减少热传导通路，降低热质量，提高红外光源的动态性能；而且，位于支撑体下的反射层可以将图形化电极产生的热量反射回去，降低热损耗，提高发光强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 光源 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种红外光源，其特征在于，包含：衬底、反射层、支撑体与图形化电极；所述反射层淀积在所述衬底之上；所述支撑体形成在所述反射层上；所述图形化电极淀积在所述支撑体上，其中，所述支撑体的横截面的图形与所述图形化电极的图形相同且重合。
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