[发明专利]用于真空加工设备的基片传输方法

摘要

本发明公开了一种用于真空加工设备的基片传输方法，其中，真空加工设备包括片盒腔、传输腔和工艺腔，片盒腔内部包括多个预备片位置和多个完成片位置，传输腔和工艺腔需要保持真空状态。该基片传输方法采用并行任务思路，当在先投入的产品片在工艺腔中被加工的期间，将在后投入的产品片送入片盒腔中进行准备工作。该方法可以节约对片盒腔进行抽真空操作或充气操作的时间，提高真空加工设备单位时间内的产能。

主权项

一种用于真空加工设备的基片传输方法，其特征在于，所述真空加工设备包括片盒腔、传输腔和工艺腔，其中所述片盒腔内部包括多个预备片位置和多个完成片位置，所述传输腔和工艺腔需要保持真空状态，所述方法包括下列步骤：S1.将待加工的产品片放入所述预备片位置,对所述片盒腔抽真空；S2.判断所述预备片位置上是否存在待加工的产品片，若是，则将所述预备片位置上的所述待加工的产品片移至所述传输腔；否则，转到S4；S3.所述待加工的产品片在所述工艺腔工艺过程中，对所述片盒腔执行充气取片和/或抽气放片步骤，返回S2；S4.将所述工艺腔中的所述已加工的产品片移至所述片盒腔中的完成片位置；S5.对所述片盒腔充气，将所述片盒腔内的所述完成片位置上的已加工的产品片取出。