[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、喷砂用掩模材料及被处理物的表面加工方法在审
| 申请号： | 201410814596.9 | 申请日： | 2014-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN104749885A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 小泽恭子;吉田哲也;板垣秀一 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件、喷砂用掩模材料和被处理物的表面加工方法，所述感光性树脂组合物含有(A)具有羧基的粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)含有磷的增塑剂和(E)硅烷化合物，所述(B)成分的具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 元件 喷砂 用掩模 材料 处理 表面 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其含有：(A)具有羧基的粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)含有磷的增塑剂、和(E)硅烷化合物，所述(B)成分的具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。
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