[发明专利]一种位置标定的方法及装置有效
| 申请号： | 201410822825.1 | 申请日： | 2014-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN105783710B | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李恺;霍杰;刘子阳;李向东;叶乐志;唐亮 | 申请（专利权）人： | 北京中电科电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/14;G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种位置标定的方法及装置，应用于装片设备中，该方法包括：获取第一光学系统的中心与预设标定板的中心的第一坐标差，其中，所述预设标定板按照预设工艺轨迹运动至所述第一光学系统的视场中；获取第二光学系统的中心与所述预设标定板的中心的第二坐标差，其中，所述预设标定板按照所述预设工艺轨迹从所述第一光学系统的视场运动至所述第二光学系统的视场中；根据所述第一坐标差和所述第二坐标差，确定所述第一光学系统与所述第二光学系统之间的距离及夹角，使得所述装片设备能够根据所述距离及夹角实现芯片位置的标定。本发明实施例标定的光学系统间的距离和夹角为下一步装片工艺的精度提供了保证，实现了高精度的装片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 位置 标定 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种位置标定的方法，应用于装片设备中，其特征在于，包括：获取第一光学系统的中心与预设标定板的中心的第一坐标差，其中，所述预设标定板按照预设工艺轨迹运动至所述第一光学系统的视场中；获取第二光学系统的中心与所述预设标定板的中心的第二坐标差，其中，所述预设标定板按照所述预设工艺轨迹从所述第一光学系统的视场运动至所述第二光学系统的视场中；根据所述第一坐标差和所述第二坐标差，确定所述第一光学系统与所述第二光学系统之间的距离及夹角，使得所述装片设备能够根据所述距离及夹角实现芯片位置的标定；其中，所述获取第一光学系统的中心与预设标定板的中心的第一坐标差，具体包括：获取所述第一光学系统的中心在预设三维坐标系中的第一坐标；获取所述预设标定板的中心在所述预设三维坐标系中的第二坐标，其中，所述预设标定板的中心由所述第一光学系统进行标定；根据所述第一坐标和所述第二坐标，确定所述第一坐标差；其中，所述获取第二光学系统的中心与所述预设标定板的中心的第二坐标差，具体包括：获取所述第二光学系统的中心在所述预设三维坐标系中的第三坐标；获取所述预设标定板的中心在所述预设三维坐标系中的第四坐标，其中，所述预设标定板的中心由所述第二光学系统进行标定；根据所述第三坐标和所述第四坐标，确定所述第二坐标差。
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