[发明专利]晶圆转移工具

摘要

本发明涉及晶圆转移工具。一种晶圆转移工具包括：保持平齐且可以沿着滑动轨道合拢或分开的第一平台和第二平台；第一平台上具有限位拐角和第一卡槽用于将晶圆转接盒固定于第一平台之上且使其开口方向朝向第二平台；第二平台上具有第二卡槽、第一柱体和第二柱体；第一柱体和第二柱体上具有沟槽以容纳晶圆料盒的底托，第二卡槽用于与晶圆料盒的卡接部分啮合，以将晶圆料盒固定于第二平台之上且使其开口方向朝向第一平台；第一柱体和第二柱体的内侧与晶圆料盒的底托部分的中空开口对齐。这种工具可以避免现有晶圆转移方式中的风险，以降低晶圆损耗。

主权项

一种晶圆转移工具，其特征在于，该晶圆转移工具包括：第一平台和第二平台，所述第一平台和第二平台保持平齐且可以沿着滑动轨道合拢或分开；所述第一平台上具有限位拐角和第一卡槽，所述限位拐角和第一卡槽用于将晶圆转接盒固定于所述第一平台之上且使得所述晶圆转接盒的开口方向朝向所述第二平台；所述第二平台上具有第二卡槽、第一柱体和第二柱体；其中，所述第一柱体和第二柱体相对而立，两者的连线垂直于所述第一平台和第二平台的滑动方向；所述第一柱体和第二柱体上具有沟槽以容纳晶圆料盒的底托，所述第二卡槽用于与所述晶圆料盒的卡接部分啮合，以将所述晶圆料盒固定于所述第二平台之上且使得所述晶圆料盒的开口方向朝向所述第一平台；所述第一柱体和第二柱体的内侧与所述晶圆料盒的底托部分的中空开口对齐。