[发明专利]一种钽靶材的制备工艺在审
| 申请号： | 201410851242.1 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104480439A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 同磊;陈林;郑爱国;李桂鹏;汪凯;李兆博;程跃伟 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/16;C22F1/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钽靶材的制备工艺，包括以下步骤：A)，将钽粉进行等静压成型，得到钽坯；B)，将所述钽坯进行烧结，将烧结得到的钽坯进行轧制，将轧制得到的钽坯进行热处理，得到钽靶材。本发明通过粉末冶金的方法制得了钽靶材加工坯料，其优点是内部组织细小均匀，并得到了无织构的内部组织；再通过压力加工工艺与热处理工艺，获得了细小且均匀一致的内部组织，得到了满足高端溅射机台使用的钽靶材要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钽靶材 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种钽靶材的制备工艺，包括以下步骤：A)，将钽粉进行等静压成型，得到钽坯；B)，将所述钽坯进行烧结，将烧结得到的钽坯进行轧制后进行热处理，得到钽靶材。
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