[实用新型]硅片烘干机有效
| 申请号： | 201420010716.5 | 申请日： | 2014-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN203687556U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 倪加乐;滕明;顾小兰 | 申请（专利权）人： | 上海思恩电子技术（东台）有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/12 | 分类号： | F26B15/12;F26B25/00;F26B25/06 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 刘忠祥 |
| 地址： | 224200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片烘干机，包括支架，支承于支架上的烘干腔体，所述烘干腔体左右两侧设置有硅片篮进口与硅片篮出口，在所述支架上还设置有贯穿硅片篮进口与硅片篮出口的滑轨，在所述支架上还可移动地支承有与滑轨平行的拉杆，在所述拉杆上铰支有推送爪，所述拉杆由往复直线运动机构驱动。该硅片烘干机不仅能满足每一生产节拍输出多个硅片篮的烘干要求，而且各硅片篮烘干输出后具有确定的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 烘干机 | ||
【主权项】：
一种硅片烘干机，包括支架（3），支承于支架（3）上的烘干腔体（4），所述烘干腔体（4）左右两侧设置有硅片篮进口（13）与硅片篮出口（2），其特征在于：在所述支架（3）上还设置有贯穿硅片篮进口（13）与硅片篮出口（2）的滑轨（8），在所述支架（3）上还可移动地支承有与滑轨（8）平行的拉杆（7），在所述拉杆（7）上铰支有推送爪（6），所述拉杆（7）由往复直线运动机构（1）驱动。
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