[实用新型]一种平面等离子发生器有效
| 申请号： | 201420022338.2 | 申请日： | 2014-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN203934090U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 李树瑜 | 申请（专利权）人： | 北京吉兆源科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种平面等离子发生器，包括工作架，其中，还包括真空室、电感线圈、绝缘体、屏蔽筒、真空隔离装置、射频匹配器、射频源及电源地；所述工作架置于所述真空室中，将所述电感线圈设置于所述绝缘体中，同时将所述绝缘体设置于所述真空室中，所述电感线圈通过所述屏蔽筒及所述真空隔离装置与所述真空室外部的所述射频匹配器相连接，所述射频匹配器还设置依次与所述射频源及所述电源地相连接。采用上述方案，能够产生大面积、高密度、单向放电、相对均匀的等离子体发生器，使等离子体分布均匀、效率高，对基片表面损伤小，适合大面积等离子辅助薄膜沉积、刻蚀、表面清洗以及表面处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 等离子 发生器 | ||
【主权项】：
一种平面等离子发生器，包括工作架，其特征在于，还包括真空室、电感线圈、绝缘体、屏蔽筒、真空隔离装置、射频匹配器、射频源及电源地；所述工作架置于所述真空室中，将所述电感线圈设置于所述绝缘体中，同时将所述绝缘体设置于所述真空室中，所述电感线圈通过所述屏蔽筒及所述真空隔离装置与所述真空室外部的所述射频匹配器相连接，所述射频匹配器还设置依次与所述射频源及所述电源地相连接。
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