[实用新型]一种晶圆清洗甩干机的移动门有效
| 申请号： | 201420060911.9 | 申请日： | 2014-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN203704628U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 唐强;冯惠敏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/12 | 分类号： | F26B25/12 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆清洗甩干机的移动门，所述晶圆清洗甩干机的移动门包括：位于晶圆清洗甩干机外壳顶部、可以滑动打开的外部移动门；位于晶圆清洗甩干机腔体顶部、用于控制腔体开关的内部移动门；所述内部移动门由内外两层结构构成。所述晶圆清洗甩干机的内外部移动门的材料均使用亲水材料，且表面均为颗粒喷涂面，晶圆清洗甩干机内部移动门的内层结构设计为带沟槽的弧形，同时在内部移动门内层结构的两端设置有进水口，且内部移动门内层结构的外表面设有沿其两侧边缘的凸出区，这样就可以让内层结构表面的水通过沟槽流到进水口，顺利滑落到内部容器中，避免了水停留在内层结构表面，在内部移动门做开关动作时导致水掉落在晶圆表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 甩干机 移动 | ||
【主权项】：
一种晶圆清洗甩干机的移动门，其特征在于，所述晶圆清洗甩干机的移动门包括：位于晶圆清洗甩干机外壳顶部、可以滑动打开的外部移动门；位于晶圆清洗甩干机腔体顶部、用于控制腔体开关的内部移动门；所述内部移动门由内外两层结构构成，其中内部移动门外层结构固定在腔体一侧的内壁上，内部移动门内层结构可以左右滑动；所述内部移动门内层结构的内外表面均纵向均匀地分布有沟槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420060911.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：谷电熔锌蓄热保温炉
- 下一篇：一种食品干燥机中干燥网板的安装结构
