[实用新型]用于清洗晶圆的盘式载具

摘要

本实用新型公开一种用于清洗晶圆的盘式载具。盘式载具包括一清洗槽及一环绕在清洗槽周围的环形槽。并于清洗槽与环形槽之间设置有一排放槽。清洗槽与排放槽之间连接有至少一第一流道，环形槽与排放槽之间连接有至少一第二流道。当贴附有胶膜的晶圆置于盘式载具时，可使得该晶圆对应于清洗槽，未被晶圆遮蔽的胶膜则对应于环形槽。如此，通过第一流道提供一第一流体注入到清洗槽内并对晶圆进行清洗，再通过第二流道提供一第二流体注入到环形槽内，并以第二流体限制第一流体不接触到胶膜。

主权项

一种用于清洗晶圆的盘式载具，用以供一晶圆装配，该晶圆贴附有一胶膜，并以该胶膜将该晶圆置于一框架之中，其特征在于，该盘式载具包括：一清洗槽；一环形槽，环绕在该清洗槽的周围；一排放槽，设置于该清洗槽与该环形槽之间；至少一第一流道，连通该清洗槽与该排放槽；以及至少一第二流道，连通该环形槽与该排放槽；其中，该盘式载具用以供该框架置放于其上，令该晶圆对应于该清洗槽，该胶膜未被该晶圆遮蔽的部分对应于该环形槽，该第一流道用以提供一第一流体注入到该清洗槽内，并以该第一流体清洗该晶圆，该第二流道用以提供一第二流体注入到该环形槽内，并以该第二流体限制该第一流体不接触到该胶膜。