[实用新型]一种晶片研磨浆料回收系统

摘要

本实用新型涉及一种晶片研磨浆料回收系统，其包括晶片研磨台与晶片研磨浆料回收装置；所述晶片研磨浆料回收装置包括采用空心结构的研磨浆料处理室；所述晶片研磨浆料回收装置设置有连接至晶片研磨机台的浆料流入管道，以及浆料流出管道；所述研磨浆料处理室内部设置有多级过滤装置；采用上述技术方案的晶片研磨浆料回收系统，其可对晶片研磨中的浆料进行回收，避免浆料的浪费；同时，晶片研磨浆料回收装置可对回收后的浆料进行筛选，获取含有最佳规格的研磨粉末的浆料投入研磨工作，从而避免在研磨过滤中，过大研磨粉末造成晶片粗糙度过大，或过小研磨粉末造成的研磨效率低下。

主权项

一种晶片研磨浆料回收系统，其包括晶片研磨台与晶片研磨浆料回收装置，其特征在于，所述晶片研磨浆料回收装置包括采用空心结构的研磨浆料处理室；所述晶片研磨浆料回收装置设置有连接至晶片研磨机台的浆料流入管道，以及浆料流出管道，其分别通过浆料流入口、浆料流出口与研磨浆料处理室连接，浆料流出管道端口处设置有浆料收集槽；所述研磨浆料处理室内部设置有多级过滤装置，过滤装置中至少包含有一级大孔径过滤装置，以及一级小孔径过滤装置；所述大孔径过滤装置设置在浆料流入管道对应位置；所述小孔径过滤装置设置在浆料流出管道对应位置，且其与浆料流出管道之间设置有阻隔层。